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国内首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线

igoseo.net   2021年07月02日

  据国家xpj传感器创新中心消息,6 月 30 日,由国家xpj传感器创新中心建设的国内首条 12 英寸先进传感器中试线成功通线。

  据介绍,该中试线以国产设备为主,具备晶圆键合,晶圆减薄,干湿法刻蚀,物理和化学气相沉积,原子层沉积,化学机械研磨,湿法清洗,自动化量测等先进传感器和晶圆级 3D 集成技术的核心工艺能力,同时为国产装备提供验证平台,加速先进传感器产业链国产化,实现自主可控。

  据了解到,国家xpj传感器创新中心表示,将在 12 英寸中试线持续开发新材料,新工艺,新器件和新集成等关键共性技术,重点突破光学,声学,力学,生物等先进传感器的核心工艺,并推动相关产品及应用的产业化。

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